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    產品簡介

    ASML’s PAS 5000/50 stepper with a well proven Zeiss 0.48NA i-line lens with a 21.1mm image field diameter. The PAS 5000/50 stepper has been designed for 0.5micron production resolutions using a “process in-depended” alignment system, for a superior production overlay. Systems is available as fully refurbished.
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    ASML PAS5000/50 i-line晶片步進器的主要參數:

    • Lens resolution 0.5 micron i-line (365nm)

    • Reduction 5X

    • Field size 21.2 mm dia ( Xmax= 15mm, Ymax= 19mm )

    • UDOF 1.2 micron ( Slope > 83 degrees )

    • Uniformity ± 2.5%

    • Intensity 280 mW/c㎡

    • Reticles 6 (5”), automatic exchange and masking

    • Wafers 100, 125, 150 mm

    產品其它參數

    • 咨詢專線

      +86 21 67693080

    • 郵箱

      sales@simaxat.com

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