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    產品中心

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    PicoMaster-150

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    產品簡介

    PicoMaster 150 是一款具有超高精度組件的多功能紫外激光寫入器,專為用戶提供在感光層中創建最高自由度的微結構而設計。系統的光柵化工作原理,搭配上高速掃描以及可調螺距步進激光頭,確保了整個曝光制程在感光層表面準確而穩定地完成。
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    系統優點

    • 系統支持高達4095級的灰度、純二進制模式;

    • 系統對準精度最高小于250納米,線寬均勻性小于50納米;

    • 系統最大支持6英寸基版,200毫米/秒掃描速度,150x150毫米曝光面積;

    • 系統采取全封閉結構設計,必需的部件、控制架構和真空泵都在外殼內,便于快速安裝;

    • 系統連接到空氣溫度調節器機組開始供應空調空氣時,內置堆式過濾器將產生干凈的交叉氣流;

    • 系統運動平臺由機械緩振系統支撐,它將過濾掉絕大多數的噪音振動,以確保工作時的振動最小。

    應用效果

    性能規格

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      +86 21 67693080

    • 郵箱

      sales@simaxat.com

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