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    產品中心

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    MicroMaster

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    產品簡介

    MicroMaster 是一款多功能的紫外激光寫入器,具有高精度的組件,專為用戶在感光層上設計創建最高自由度的微結構。

    MicroMaster 是一個完整的操作系統。它擁有405納米波長光學模塊,能夠在光阻層中寫入最小0.8微米的結構。

    這個用戶友好的工具支持高達4095級的灰度或純二進制模式,并允許3D光學結構,表面結構以及掩模項目。

    激光控制的實時自動對焦和激光強度控制,確保整個曝光過程中的高質量成像。
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    系統優點

    • 整個光路被設計在一個小而易于更換的光學模塊中,與傳統光學裝置相比,通過縮短光路,將大大提高光路指向的穩定性;

    • 緊湊的光學模塊,具有卓越的穩定性,使用備用模組將大大縮短停機時間;

    • 長壽命的405納米激光二極管和光束整形元件,保證了最佳光斑形狀,再結合高數值孔徑物鏡,使得系統獲得市場上最高分辨率。

    應用開發

    性能規格

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